设备简介：
　　具备车、铣复合加工能力，具备超高精度和超稳定的精加工能力，适用于陶瓷、石墨、单晶硅和铝合金等的超光滑表面加工。
　　床身材料采用天然花岗岩，主轴采用气体静压轴承，主轴回转精度：＜=0.3μm；X向和Z向采用气体静压导轨；导轨直线度：＜=0.1μm/100mm；
　　自主开发的超精密加工专用数控系统，主轴可做C轴使用，根据需求可配B轴使机床具有4轴联动功能。